SMC Soupapes à vide（Type à port de tuyau：Bride）
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XLA-2, Vanne angulaire pour le vide, Aluminium, Normalement fermé / joint de soufflet de protection
SMC
Vacuum regulator with low outgassing.
[Features]
· Aluminum body.
· Replaceable bellows.
· Uniform baking temperature.
· Lightweight and compact.
· Little heavy metal contamination.- Fichiers CAD 2D / 3D disponibles
à partir de∗ ： 437.59 € Délai d'expédition minimum ： 4 jours *Prix unitaire/configuration de base
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XL*, Vanne coudée pour vide élevé, commande pneumatique
SMC
A high vacuum angle valve with initial exhaust valve with adjustable flow rate.
[Features]
· Initial exhaust valve and main exhaust valve are integrated (two-step flow rate control valve).
· Allows for compact system designs and reduced piping.
· Prevents dust turbulence inside the chamber when exhausting.
· Prevents pumps from running when overloaded.
· Its low outgassing enables use with a smaller pump capacity and helps reduce exhaust time.
· Does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome).
· Low sputtering yield minimizes heavy metal contamination of wafers.- Fichiers CAD 2D / 3D disponibles
à partir de∗ ： 884.79 € Délai d'expédition minimum ： 22 jours *Prix unitaire/configuration de base
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Vannes à vide poussé en acier inoxydable, commande à 2 étages, simple effet / joint d´étanchéité à soufflet, série XMD/XYD
SMC
Une soupape à vide pour empêcher les pompes de fonctionner en cas de surcharge.
[Caractéristiques]
· La soupape d'échappement initiale et la soupape d'échappement principale sont intégrées (robinet de contrôle de débit à deux étages)
· Permet des conceptions de système compactes et une tuyauterie réduite.
· Empêche la turbulence de la poussière à l'intérieur de la chambre lors de l'évacuation.
· Débit réglable pour la soupape d'échappement initial.
· Matériau du corps: SCS13 (équivalent SUS304).
· Structure monobloc moulée avec précision qui aide à prévenir l'accumulation de Gaz .
· La série XM est interchangeable avec les vannes angulaires à vide poussé en aluminium de la série XL.- Fichiers CAD 2D / 3D disponibles
à partir de∗ ： 819.61 € Délai d'expédition minimum ： 26 jours *Prix unitaire/configuration de base
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XM et XY, Vannes pour vide élevé, acier inox, modèle angulaire et axial
SMC
A vacuum valve with a pressure-balanced structure that enables an unrestricted exhaust direction.
[Features]
· Bellows type is particulate-free and cleaned.
· Low actuation torque (0.5 N·m or less).
· Spring provides a standard sealing load.
· Handle height remains the same regardless of whether valve is open or closed.
· Equipped as standard with an indicator for confirming if the valve is open or closed.
· Body material: SCS13 (SUS304 equivalent).
· Precision-cast single-piece structure which helps prevent gas accumulation.
· The XM Series is interchangeable with XL Series aluminum high vacuum angle valves.- Fichiers CAD 2D / 3D disponibles
à partir de∗ ： 545.09 € Délai d'expédition minimum ： 4 jours *Prix unitaire/configuration de base
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XM et XY, Vannes pour vide élevé, acier inox, modèle angulaire et axial
SMC
A vacuum valve with a pressure balanced structure.
[Features]
· Body material: SCS13 (SUS304 equivalent). Made of stainless steel.
· Precision-cast single-piece structure which helps prevent gas accumulation.
· Interchangeable with XL Series aluminum high-vacuum angle valves.
· Bellows type is particulate-free and cleaned.- Fichiers CAD 2D / 3D disponibles
à partir de∗ ： 520.09 € Délai d'expédition minimum ： 4 jours *Prix unitaire/configuration de base
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Vanne d'équerre vide poussé en aluminium, double effet / soufflet joint d´étanchéité, série XLC
SMC
[Caractéristiques]
· Corps en aluminium
· Température de cuisson uniforme
· Léger et compact
· Faible dégazage
· Peu de contamination par les métal lourds
· Résistant à la corrosion fluor
· Soufflets remplaçables (type joint à soufflet)- Fichiers CAD 2D / 3D disponibles
à partir de∗ ： 462.87 € Délai d'expédition minimum ： 26 jours *Prix unitaire/configuration de base
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Vannes d'équerre vide poussé en aluminium, Double effet, Joint d´étanchéité, Joint torique, série XLG
SMC
[Caractéristiques]
· Corps en aluminium
· Température de cuisson uniforme
· Léger et compact
· Faible dégazage
· Peu de contamination par les métal lourds
· Résistant à la corrosion fluor
· Soufflets remplaçables (type joint à soufflet)- Fichiers CAD 2D / 3D disponibles
à partir de∗ ： 472.09 € Délai d'expédition minimum ： 26 jours *Prix unitaire/configuration de base
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XLH, Vanne coudée manuelle pour vide élevé, joint de soufflet de protection
SMC
A high vacuum angle valve with a pressure-balanced structure that enables an unrestricted exhaust direction.
[Features]
· Bellows type is particulate-free and cleaned.
· Low actuation torque (0.5 N·m or less).
· Spring provides a standard sealing load.
· Handle height remains the same regardless of whether valve is open or closed.
· Equipped as standard with an indicator for confirming if the valve is open or closed.
· Its low outgassing enables use with a smaller pump capacity and helps reduce exhaust time.
· Does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome).
· Low sputtering yield minimizes heavy metal contamination of wafers.- Fichiers CAD 2D / 3D disponibles
à partir de∗ ： 440.59 € Délai d'expédition minimum ： 4 jours *Prix unitaire/configuration de base
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Vannes d'équerre à vide poussé en acier inoxydable / vannes en ligne, double effet / Joint d´étanchéité à soufflet, série XMC/XYC
SMC
Soupape à vide avec structure monobloc moulée avec précision qui aide à prévenir l'accumulation de Gaz .
[Caractéristiques]
· Le Type à soufflet est exempt de particules et nettoyé.
· Pression équilibrée.
· Matériau du corps: SCS13 (équivalent SUS304).
· La série XM est interchangeable avec les vannes angulaires à vide poussé en aluminium de la série XL.- Fichiers CAD 2D / 3D disponibles
à partir de∗ ： 626.70 € Délai d'expédition minimum ： 26 jours *Prix unitaire/configuration de base
| Marque |
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| Série du produit |
| CAD |
| à partir de∗ |
| Délai d'expédition minimum ： |
| Type |
| Application |
| Méthode d'installation |
| Nombre de ports |
| Types de solénoïde |
| Type à commutation |
| Type d'entraînement à électrovanne |
| Section effective(mm2) |
| Type à port de tuyau |
| Filetage nominal de tuyauterie |
| Diamètre du tube de raccordement |
| Type à bride |
| Éléments d'embase |
| Valeur Cv |
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| Marque | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC |
| Série du produit | XLA-2, Vanne angulaire pour le vide, Aluminium, Normalement fermé / joint de soufflet de protection | XM et XY, Vannes pour vide élevé, acier inox, modèle angulaire et axial | XM et XY, Vannes pour vide élevé, acier inox, modèle angulaire et axial | Vanne d'équerre vide poussé en aluminium, double effet / soufflet joint d´étanchéité, série XLC | XLH, Vanne coudée manuelle pour vide élevé, joint de soufflet de protection | ||||
| CAD |
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| à partir de∗ | 437.59 € *Prix unitaire/configuration de base | 884.79 € *Prix unitaire/configuration de base | 819.61 € *Prix unitaire/configuration de base | 545.09 € *Prix unitaire/configuration de base | 520.09 € *Prix unitaire/configuration de base | 462.87 € *Prix unitaire/configuration de base | 472.09 € *Prix unitaire/configuration de base | 440.59 € *Prix unitaire/configuration de base | 626.70 € *Prix unitaire/configuration de base |
| Délai d'expédition minimum ： | 4 jours | 22 jours | 26 jours | 4 jours | 4 jours | 26 jours | 26 jours | 4 jours | 26 jours |
| Type | Valve de dépression pneumatique | Valve de dépression pneumatique | Soupape à dépression pilote | Soupape à vide manuelle | Valve de dépression pneumatique | Soupape à dépression pilote | Soupape à dépression pilote | Soupape à vide manuelle | Soupape à dépression pilote |
| Application | Unité simple en fonctionnement | Unité simple en fonctionnement | Unité simple en fonctionnement | Unité simple en fonctionnement | Unité simple en fonctionnement | Unité simple en fonctionnement | Unité simple en fonctionnement | Unité simple en fonctionnement | Unité simple en fonctionnement |
| Méthode d'installation | Direct | Direct | Direct | Direct | Direct | Direct | Direct | Direct | Direct |
| Nombre de ports | Vanne à 3 ports | Vanne à 2 ports | Vanne à 2 ports | Vanne à 2 ports | Vanne à 2 ports | Vanne à 2 ports | Vanne à 2 ports | Vanne à 2 ports | Vanne à 2 ports |
| Types de solénoïde | Simple | - | - | - | - | - | - | - | - |
| Type à commutation | 2 positions, normalement fermé | 2 positions, normalement fermé | 2 positions, normalement fermé | 2 positions, normalement fermé | 2 positions, normalement fermé | 2 positions, normalement fermé | 2 positions, normalement fermé | 2 positions, normalement fermé | 2 positions, normalement fermé |
| Type d'entraînement à électrovanne | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
| Section effective(mm2) | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
| Type à port de tuyau | Bride | Bride | Bride | Bride | Bride | Bride | Bride | Bride | Bride |
| Filetage nominal de tuyauterie | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
| Diamètre du tube de raccordement | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
| Type à bride | NW / Autre | KF | KF / CF | KF / CF | NW / Autre | KF | KF | KF | KF |
| Éléments d'embase | 16 / 25 / 40 / 63 | 25 / 40 | 25 / 40 / 50 | 16 / 25 / 40 / 50 | 16 / 25 / 40 / 50 / 63 | 16 | 25 | 16 / 25 | 25 |
| Valeur Cv | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
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Type
- Électrovanne à vide
- Solénoïde à vide élevé
- Soupape à vide manuelle
- Soupape à dépression pilote
- Valve de dépression pneumatique
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Application
- Unité simple en fonctionnement
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Méthode d'installation
- Direct
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Nombre de ports
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Vanne à 2 ports
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Vanne à 3 ports
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Vanne à 2 ports
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Types de solénoïde
- Simple
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Type à commutation
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2 positions, normalement ouvert
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2 positions, normalement fermé
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2 positions, normalement ouvert
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Type d'entraînement à électrovanne
- Type à mouvement linéaire
- Pilote pneumatique
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Section effective(mm2)
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Type à port de tuyau
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Diamètre du tube de raccordement
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Type à bride
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Éléments d'embase
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Valeur Cv
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